設備

機械名

Zygo NewView

仕様

測定方法：
非接触三次元白色光走査型光学位相シフト干渉法

測定視野範囲：
0.04~φ21.9mm

測定範囲(Z軸)：
150um(5906uin)

解像度(Z軸)：
最大0.1nm(0.004uin)

解像度(X,Y軸)：
0.43～11.6um(測定内容による)

RMS再現性：
<0.1 nm RMS

ステップ高：
精度≦0.75%
再現性≦0.1％ @ 1σ

用途

様々な表面計測が可能。

機械名

NH-3SPs　超精密非接触三次元測定装置

仕様

測定範囲(X,Y,Z-AF(Z))：150x150x15(120)mm (NTKJ専用仕様)

分解能(X,Y,Z)：0.01x0.01x0.001um

用途例

フレネルレンズ金型、回折格子、非球面レンズ金型表面

三鷹光器NH-3SPsの詳細はこちら

機械名

芝浦機械　ULR-635

仕様

最大加工巾：2800mm

最大ロールサイズ：φ600mm、 巾3500mm

最大重量：2000kg

プログラム分解能：0.01um(X,Z軸)、0.00001度(B,C軸)

用途

光学シート(樹脂)成形用ロール金型加工

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機械名

芝浦機械　UTD-2200

仕様

最大ワーク直径：2200mm

プログラム分解能：0.01um(X,Z軸)、0.00001度(B軸)

用途

フレネルレンズ製造

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機械名

プレシテック・アメテック　FreeformTL1000
(NTKJ特別仕様)

仕様

最大ワーク直径：1000mm

分解能：0.00001um(10pm)

軸構成：5+2軸

用途

非球面、自由曲面や超精密製品

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